羲之,精度逼近 中國曝光機卻難量產
2025-08-30 18:14:07 代妈机构
但生產效率仍顯不足。中國之精
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(首圖來源 :中國杭州人民政府)
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浙江大學余杭量子研究院研發的 100kV 電子束(EBL)曝光機「羲之」,接近 ASML High-NA EUV 標準。「羲之」定位精度可達 0.6 奈米 ,但由於採用「逐點書寫」(point-by-point writing)──電子束必須像筆逐點描繪電路圖案──因此製作一片晶圓需要更長時間 ,